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CCQ型气动超高真空插板阀是通过电磁换向阀改变气路方向，控制执行气缸驱动阀板作上下运动，达到阀门的开启或关闭。阀门用于接通或切断真空管路中的气流。适用介质为纯净空气和非腐蚀性气体。带反馈信号装置。

主要技术性能 

适用范围：105～1.3×10-7Pa

阀门漏率：≤1.3×10-7Pa.L/S.(DN≤200)      ≤6.7×10-7Pa.L/S.(DN≥250)

适用温度：-30～+150℃

阀门开启时阀板两侧的压差：　≤2.7×103Pa.

气源压力：　0.4～0.6MPa

主要零件材料

阀体、阀板：不锈钢
密封件：氟橡胶、波纹管(轴封)、丁腈橡胶。

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