电子超纯水一般工艺流程： <?xml:namespace prefix = o ns = "urn:schemas-microsoft-com:office:office" />

　　(水质符合美国ASTM标准，电子部超纯水水质标准（18MΩ*cm，15MΩ*cm，2MΩ*cm和0.5MΩ*cm四级)

　　典型工艺2:原水→预处理→反渗透→EDI→精密过滤→用水点

•预处理－反渗透－中间水箱－水泵－混合床－纯化水箱－纯水泵－紫外线杀菌器－精制混床－精密过滤器－用水对象

•预处理－一级反渗透－加药机（ PH调节）－中间水箱－第二级反渗透－纯化水箱－纯水泵－紫外线杀菌器－0.2或0.5 μ m精密过滤器－用水对象

•预处理－反渗透－中间水箱－水泵－ EDI装置－纯化水箱－纯水泵－紫外线杀菌器－0.2或0.5 μ m精密过滤器－用水对象

•预处理－反渗透－中间水箱－水泵－ EDI装置－纯化水箱－纯水泵－紫外线杀菌器－精制混床－0.2或0.5 μ m精密过滤器－用水对象

应用场合：

•半导体材料、器件、印刷电路板和集成电路；

•超纯材料和超纯化学试剂；

•实验室和中试车间

•汽车、家电表面抛光处理；

•其他高科技精微产品。